真空閥基于流體力學和氣體力學原理工作，通過控制閥門的開啟與關閉來調節(jié)系統(tǒng)中的真空程度。在關閉狀態(tài)時，閥門內部阻力和密封限制使流體無法通過，系統(tǒng)保持真空度；閥門打開后，因壓力差，流體從高壓區(qū)域流向低壓區(qū)域，系統(tǒng)真空度降低。這一過程實現(xiàn)了對真空系統(tǒng)中氣體流動的精準控制，以滿足不同場景需求 。

具體而言，真空閥有著多樣的結構組成，常見的有閥體、閥瓣（或閥芯）、密封件以及驅動機構等。其開啟和關閉的動作依靠驅動機構來達成，像手動、電動、氣動和電磁驅動都是較為常見的驅動方式。而且，為了保障良好的工作效果，真空閥需要具備較高的密封性能，密封件通常會選用耐高溫、耐腐蝕的材料，以此適應不同的工作環(huán)境。

在工作狀態(tài)（得電）時，以一些常見的真空閥為例，閥桿會動作，封閉充氣口，同時開啟通道，讓真空泵與被抽容器相連進行抽氣作業(yè)，使系統(tǒng)的真空度不斷提升。而在非工作狀態(tài)（失電）下，閥桿在彈簧的作用下復位，切斷與真空泵的連接，并且允許外界氣體通過充氣口進入，補充氣體，從而改變系統(tǒng)的真空狀態(tài)。

真空閥的類型豐富，包括隔膜閥、蝶閥、球閥、角閥及針閥等 ，不同類型適用于不同場合。比如在一些對氣體流量控制要求較高的精密實驗中，可能會選用針閥來實現(xiàn)精細調節(jié)；而在一些對快速開啟和關閉有需求的工業(yè)流程里，蝶閥或許是更好的選擇。

總之，真空閥憑借獨特的工作原理，在諸多領域發(fā)揮著關鍵作用。無論是半導體制造、真空鍍膜這樣的高端制造業(yè)，還是科學研究等領域，它都能精準控制氣流，確保壓力穩(wěn)定，提高真空度，為設備的穩(wěn)定運行和各項工作的順利開展提供有力保障。