質(zhì)量流量傳感器的工作原理主要有熱式和科里奧利式。

熱式質(zhì)量流量計基于能量守恒定律，利用測量傳感器中介質(zhì)的溫度變化來計算介質(zhì)的熱量，進而算出介質(zhì)的質(zhì)量流量。其傳感器由加熱裝置和測溫傳感器組成，加熱裝置使介質(zhì)溫度增加，測溫傳感器檢測溫度變化，介質(zhì)流過傳感器后的溫度變化與輸出信號成正比。

科里奧利式質(zhì)量流量計基于科里奧利力原理，包含一個或多個振動的管道，流體在管道內(nèi)流動時會受到科里奧利加速度的影響，使管道產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)，扭轉(zhuǎn)角度與流體的質(zhì)量流量成正比。通常配備有傳感器來檢測管道的振動頻率和相位差，通過這些數(shù)據(jù)可計算出流體的質(zhì)量流量。中部裝有驅(qū)動線圈，兩端裝有檢測線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅(qū)動線圈上時，振動管作往復(fù)周振動。工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動管，會產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動。安裝在振管兩端的檢測線圈產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個信號相位差與流經(jīng)傳感器振管的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系，計算機解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時，振管的主振頻率不同，據(jù)此可解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器振管上的鉑電阻可間接測量介質(zhì)的溫度。