目前有多種新技術(shù)可精確測量涂膜厚度。

比如江蘇雷博微電子的新專利技術(shù)，它通過先進(jìn)的傳感器及數(shù)據(jù)處理技術(shù)，結(jié)合創(chuàng)新的光學(xué)測量原理和人工智能的圖像分析技術(shù)，能在生產(chǎn)中實(shí)時監(jiān)測膜厚，測量精度高、效率高，還解放了人工操作，提升了工藝自動化水平。對于大尺寸旋涂膜，這種技術(shù)優(yōu)勢明顯。

還有 X-RAY 涂層厚度分析儀，像 XF-3000，它結(jié)合射線發(fā)生裝置、Fast SDD 探測器和定制軟件，功能強(qiáng)大。是臺式光譜分析儀，設(shè)計理念好，能支持多尺寸大工件測試，配備手動 XY 軸工作臺定位樣品，射線光斑作用于樣品底面，最小光斑能聚至 0.1mm，軟件加載 smart FP 算法，操作簡單，結(jié)果分析準(zhǔn)確方便。

另外，常用的測量方法還有磁性拉斷式測厚儀、磁和電磁感應(yīng)儀器、渦流測厚儀、超聲波測厚儀、千分尺測厚儀。

還有破壞性測試，比如在橫截面上切割涂層部分用顯微鏡觀察測量，或用精密切割輪制作 V 形槽測量。

再有就是美國 DeFelsko 公司的 PosiTector 100 系列超聲波涂層測厚儀，應(yīng)用超聲波技術(shù)，能容易準(zhǔn)確地測量單層或多層涂膜厚度，適用多種基材。

這些新技術(shù)和方法都為精確測量涂膜厚度提供了有效手段。

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