目前有多種新技術(shù)可精確測(cè)量涂膜厚度。

比如江蘇雷博微電子的新專利技術(shù)，它通過(guò)先進(jìn)的傳感器及數(shù)據(jù)處理技術(shù)，結(jié)合創(chuàng)新的光學(xué)測(cè)量原理和人工智能的圖像分析技術(shù)，能在生產(chǎn)中實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚，測(cè)量精度高、效率高，還解放了人工操作，提升了工藝自動(dòng)化水平。對(duì)于大尺寸旋涂膜，這種技術(shù)優(yōu)勢(shì)明顯。

還有 X-RAY 涂層厚度分析儀，像 XF-3000，它結(jié)合射線發(fā)生裝置、Fast SDD 探測(cè)器和定制軟件，功能強(qiáng)大。是臺(tái)式光譜分析儀，設(shè)計(jì)理念好，能支持多尺寸大工件測(cè)試，配備手動(dòng) XY 軸工作臺(tái)定位樣品，射線光斑作用于樣品底面，最小光斑能聚至 0.1mm，軟件加載 smart FP 算法，操作簡(jiǎn)單，結(jié)果分析準(zhǔn)確方便。

另外，常用的測(cè)量方法還有磁性拉斷式測(cè)厚儀、磁和電磁感應(yīng)儀器、渦流測(cè)厚儀、超聲波測(cè)厚儀、千分尺測(cè)厚儀。

還有破壞性測(cè)試，比如在橫截面上切割涂層部分用顯微鏡觀察測(cè)量，或用精密切割輪制作 V 形槽測(cè)量。

再有就是美國(guó) DeFelsko 公司的 PosiTector 100 系列超聲波涂層測(cè)厚儀，應(yīng)用超聲波技術(shù)，能容易準(zhǔn)確地測(cè)量單層或多層涂膜厚度，適用多種基材。

這些新技術(shù)和方法都為精確測(cè)量涂膜厚度提供了有效手段。